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選擇好的行星減速機材料，有利于提高行星齒輪減速機的承載力及使用壽命。
針對精密減速機的結構特點和行星齒輪的載荷性質，應該廣泛采用硬齒面行星齒輪。獲得硬齒面行星齒輪熱處理方法有很多。如表面淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據行星齒輪減速機的特點選定。
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1.表面淬火
常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸行星齒輪）和火焰淬火（對大尺寸行星齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果z好。齒面硬度可達45-55HRC.
2.滲氮
采用滲氮可保證行星齒輪在變形z小的條件下，達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進行z好的精加工，提高了承載能力。
3.滲碳淬火
滲碳淬火行星齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來消c熱處理變形，以保證精度。
滲碳淬火行星齒輪常用滲碳前碳的分數為0.2%-0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58-62HRC范圍內，若低于57HRC時，硬面強度顯著下降，高于62HR則脆性增加。滲碳淬火行星齒輪的硬度，從行星齒輪表面深層逐漸降低，而滲碳深度規定為表面硬度5.25HRC處的深度。
滲碳淬火在行星齒輪彎曲疲勞強度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于表面的殘余壓應力。它可使z大壓應力區的應力減小，因此磨齒時不能磨齒根部分
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